Réponse rapide
La dégradation d’une enceinte sous vide se surveille par taux de fuite, temps de pompage, pression isolée, déformation, température, vibration et inspections des joints et traversées.
Comparer à l’état sain
Chaque cycle conserve pression, temps, volume, température et configuration. Une remontée lente ou un pompage plus long signale une évolution même sans fuite audible.
Séparer les causes
Dégazage, capteur, pompe, joint, fissure et vanne sont testés par isolement et mesures croisées. Les données anciennes ne sont pas utilisées sans vérifier leur calibration.
Limiter l’exposition
Le robot arrête le procédé, isole le volume ou remet à l’air selon une procédure sûre. La reprise exige contrôle, essai et confirmation de la tenue.
Sources et références
- [1] Robotics and Autonomous Systems — NIST